• 一句嘱咐 涡阳一对父子接力守墓74载 只求烈士不孤单 2019-03-21
  • 人才人口为何一夜间成“香饽饽” 2019-03-20
  • 中国残联理事长鲁勇:我国残疾儿童义务教育普及率达90%以上 2019-03-19
  • 马蓉小号曝光:辅导孩子做作业 暗讽王宝强素质差 2019-03-19
  • 课业繁重,新西兰高中生要减负了! 2019-03-17
  • 姑娘舍不得崖山生活“赖”在山上不肯走 ——凤凰网房产 2019-03-17
  • 湖州市启动中小学生校外培训机构治理 2019-03-15
  • 在楼主大谈共产主义分配的时候,希望楼主先说明一下对马克思关于共产主义基本原则的理解。一个社会如果仍然存在“按劳动分配”,怎么会是“每一个个人的全面而自由的发展” 2019-03-15
  • 设计师默默吐槽的这些话 你想听吗 2019-03-13
  • 世界读书日独家策划阅来阅好——明星读经典,为你做海报 2019-03-12
  • 【聚焦】介休上了农民日报 看看厕所革命的介休故事 2019-03-12
  • 全国600多万网民通过移动直播看新疆赛龙舟包粽子 2019-03-11
  • 遭黑客攻击 “A站”千万条用户信息在暗网兜售 2019-03-07
  • 男孩“偷”两万元玩游戏 家长想要回来有点难 2019-03-06
  • 博物馆里过端午 让文化“动”起来让历史“活”起来 2019-03-05
  • 广东快乐十分app下载:合金膜的溅射沉积方法

    来源:真空技术网(快乐十分app www.cjins.net)真空技术网整理 作者:真空技术网

    快乐十分app www.cjins.net   为使溅射系统所用靶的数量减少,尽量用一个靶就能溅射沉积制取符合成分及性能要求的合金薄膜,可以采用合金靶、复合镶嵌靶、以及采用多靶溅射等。

      一般说来,在放电稳定状态下,按照靶的成分,各种构成原子分别受到溅射作用,溅射镀膜比真空蒸镀和离子镀的一个优越之处在于:膜层的组分和靶的组分差别较小,而且镀层组分稳定。不过,在有些情况下,由于不同组成元素的选择溅射现象、膜层的反溅射率以及附着力不同,会引起膜层和靶的成分有较大的差别。使用这种合金靶,为了制取确定组分的膜,除了根据实验配制特定配比的靶并尽量降低靶的温度之外,还要尽可以降低基片温度以便减少附着率的差别,并选择合适的工艺条件尽量减少对膜层的反溅射作用。

      在有些情况下,不易制备大面积的均匀合金靶、化合物靶,这时可以采用由单元素组成的复合镶嵌靶,靶表面的构成如图1所示。其中图d所示的扇形镶嵌结构效果最好,易于控制膜的成分,重复性也好。从原理上讲,不仅二元合金,三元、四元等合金膜都可以用这种方法制取。

    合金膜的溅射沉积方法

    图1 各种不同结构的复合靶

    (a) 方块镶嵌靶;(b) 圆块镶嵌靶;(c) 小方块镶嵌靶;(d) 扇形镶嵌靶

      为在溅射膜中做出相应的成分分布,可采用如图2所示的镶嵌靶材。图中是在一块Ti基体靶材的刻蚀区上钻孔镶嵌Al材料的复合靶,用来制取Ti Al N合金膜或化合物膜。由图中可以看出,在基片的不同位置上,膜成分是不同的,Al材料的镶嵌位置和数量对应着确定的合金成分,因此用这种方法制取各种成分的合金或化合物膜是十分方便的。

    合金膜的溅射沉积方法

    图2 Ti-Al镶嵌复合靶

      多靶溅射的结构如图3所示。使基片在两个以上靶的上方转动,控制每种膜的沉积厚度为一个或几个原子层,轮翻沉积,这样就能制取化合物膜。例如,有人使用InSb和GaSb靶,制得了In1-xGax Sb单晶膜。虽然这种装置复杂一些,但是通过控制基片的转动速度和改变各个靶上所加的电压,可以得到任意组分的膜;按照镀膜的时间,控制这些参数,可以在膜厚的方向上任意改变膜的组分,而且能获得超晶格结构。

    合金膜的溅射沉积方法

    图3 多靶溅射结构示意图

      当要求合金膜各成分之间相差很大时,一般要采用辅助阴极法。主阴极靶由合金的主要成分制成,辅助阴极靶由合金的添加成分制成。对各个靶同时进行溅射,以形成合金膜。通过调节辅助阴极靶的电流,可以任意改变合金膜中添加成分的数量。

      合金膜的溅射沉积方法为真空技术网首发,转载请以链接形式标明本文首发网址。

      //www.cjins.net/application/sputter-coating/057177.html

      与 真空溅射镀膜 溅射沉积 相关的文章请阅读:

      真空溅射镀膜//www.cjins.net/application/sputter-coating/

  • 一句嘱咐 涡阳一对父子接力守墓74载 只求烈士不孤单 2019-03-21
  • 人才人口为何一夜间成“香饽饽” 2019-03-20
  • 中国残联理事长鲁勇:我国残疾儿童义务教育普及率达90%以上 2019-03-19
  • 马蓉小号曝光:辅导孩子做作业 暗讽王宝强素质差 2019-03-19
  • 课业繁重,新西兰高中生要减负了! 2019-03-17
  • 姑娘舍不得崖山生活“赖”在山上不肯走 ——凤凰网房产 2019-03-17
  • 湖州市启动中小学生校外培训机构治理 2019-03-15
  • 在楼主大谈共产主义分配的时候,希望楼主先说明一下对马克思关于共产主义基本原则的理解。一个社会如果仍然存在“按劳动分配”,怎么会是“每一个个人的全面而自由的发展” 2019-03-15
  • 设计师默默吐槽的这些话 你想听吗 2019-03-13
  • 世界读书日独家策划阅来阅好——明星读经典,为你做海报 2019-03-12
  • 【聚焦】介休上了农民日报 看看厕所革命的介休故事 2019-03-12
  • 全国600多万网民通过移动直播看新疆赛龙舟包粽子 2019-03-11
  • 遭黑客攻击 “A站”千万条用户信息在暗网兜售 2019-03-07
  • 男孩“偷”两万元玩游戏 家长想要回来有点难 2019-03-06
  • 博物馆里过端午 让文化“动”起来让历史“活”起来 2019-03-05