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    来源:真空技术网(快乐十分app www.cjins.net)钢研纳克检测技术有限公司 作者:李凯

    快乐十分app www.cjins.net   本测量和控制系统采用的结构如图2 所示,主要由ARM 微控制器、ADC 采集电路、CAN 通讯接口、HM-TRP 无线收发???、上位机和真空规组成。

      四极杆质谱仪对真空度的要求为:接口部分真空度范围为200Pa~ 大气压;离子传输部分的真空度为10-2 Pa 左右;四极杆部分的真空度为10-4 Pa~10-6 Pa 左右。根据以上要求,选用了瑞士英??倒镜钠だ峁婧团四?,皮拉尼规的测量范围为大气压至10-2 Pa, 潘宁规的测量范围为100Pa~10-7 Pa,其中接口部分和离子传输部分用皮拉尼规,四极杆部分用潘宁规。

    一种四极杆质谱仪真空测量及控制系统的系统组成

    图2 系统结构图

      系统工作流程如下:ADC 采集电路采集安装在接口、离子传输和四极杆部分的真空规的模拟输出值,并在ARM 微控制器的控制下根据真空度转换公式将其转换为真空值,一方面通过CAN通讯接口将真空值上传至PC 机显示,另一方面通过RS232 ??楹臀尴呤辗⒛?榻婵罩捣⑺偷较允局斩讼允?。

      同时,控制器根据真空值及内部识别电阻的端电压值实现接口、离子传输、四极杆三个部分的真空规类型的识别及三个真空规的级联控制,并通过CAN 通讯接口来实现其他单元部件的级联控制和整机的流程控制。

      一种四极杆质谱仪真空测量及控制系统的系统结构图为真空技术网首发,转载请以链接形式标明本文首发网址。

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